深層解析 顕微検査装置

イントロダクション

高精度測定システムとモーションコントロール技術
当社の高精度測定システムとモーションコントロール技術は、産業用途において比類のない精度と信頼性を提供します。本書では、測定システム、モーションコントロール、リアルタイムイメージング、パラメータ設定、解析機能および自動測定について紹介します。

測定システム

• 線長 (mm)：4.78 ± 0.02
  
  

• 作業距離 (mm)：39 ± 0.2
  
  

• ピッチ (μm)：25
  
  

• ビーム径 (μm)：10
  
  

• 測定角度 (°)：±20
  
  

• 測定範囲 (mm)：3.9
  
  

• 軸方向分解能 (nm)：320
  
  

• 精度 (μm)：1.2
  
  

モーションコントロール

• 作業移動ストローク (mm)：350 × 350 × 125
  
  

• 作業面寸法 (mm)：480 × 430
  
  

• 独立サーボモータ制御
  
  

• X/Y軸光学スケール分解能 (μm)：0.5
  
  

• Z軸光学スケール分解能 (μm)：0.1
  
  

リアルタイムイメージング

• 被測定物表面観察
  
  

• 自動フォーカス
  
  

• 連続ドラッグ移動
  
  

パラメータ設定

• 装置プラットフォーム移動制御
  
  

• スキャンパラメータ設定
  
  

• 装置情報フィードバック
  
  

• レポート表示
  
  

解析機能

• ステップ高さ測定
  
  

• 地形輪郭寸法解析
  
  

• 3D回転物体解析
  
  

• 高さ分布画像解析
  
  

• データ統合、補間画像および距離解析
  
  

自動測定

• 集中的プログラミングにより測定効率を向上、オペレーターのプログラミング時間を削減
  
  

• 測定タスクの保存/読み込みにより、生産工程の測定効率を向上
  
  

• 自動数値解析
  
  

当社の高精度測定システムとモーションコントロール技術により、御社はより高い生産効率と品質管理を実現することができます。ご不明点やさらなる情報が必要な場合は、ぜひお気軽にお問い合わせください。